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  半导体清洗机虽然在生产线中不像光刻机那样有目共睹，但它是确保芯片良率的要害设备。但是，正是其作业原理和所运用的化学品，使其成为半导体工厂中火灾危险最高的设备之一。为其设备主动救活设备不是一种“可选装备”，而是至关重要的安全保证。

  异丙醇：这是最中心的危险源。IPA是清洗机中最常用的枯燥剂和清洗剂，其闪点仅为12°C，这在某种程度上预示着即便在室温下，其蒸气遇到细小的火花或热外表就能瞬间点着。清洗机在工艺过程中，IPA会以液体、蒸气方式存在于腔室、管道和花篮中，浓度极易到达爆破极限。

  许多清洗过程需求加热化学品以提高整理洗刷作用（例如，加热的SC-1、SC-2溶液）。加热器、热板等部件假如操控失灵，有几率会成为强壮的点火源。

  机械运动：机器人手臂、晶圆花篮的快速升降和旋转，假如呈现毛病（如电机卡死、轴承损坏），或许因冲突发生高温，成为点火源。

  电气体系：高功率的电机、加热器、泵以及杂乱的操控电路，存在发生电气短路、过载和电弧的危险。

  清洗机是一个相对密闭的体系，一旦易燃蒸气走漏或在腔体内到达临界浓度，任何一个意外的电火花或高温外表都或许引发内部闪火或爆破。

  没有救活体系，一个小火苗会在几秒钟内点燃整个腔体内的化学品和塑料部件（如花篮、管路），导致设备彻底焚毁。

  产线瓶颈：清洗机是贯穿前后道工艺的常用设备。一台要害清洗机的损毁或许会引起整条产线停摆。

  天价的停产丢掉：半导体工厂停产一天的丢掉可达数百万乃至上千万块钱。火灾后的设备替换、洁净室修正、环境评价需求数月时刻，或许会引起企业丢掉重要订单和商场时机，乃至不坚定企业根基。

  有害物质走漏：火灾会损坏化学品供给体系，导致剧毒、腐蚀性化学品（如氢氟酸HF）走漏，对人员和环境可以形成巨大损害。

  烟尘污染：焚烧发生的浓烟和烟尘会污染整个洁净室，附着在其他价值数亿的精细设备上，形成远超火灾自身的直接丢掉。整理这些污染极端困难和贵重。

  清洗机火灾或许引发爆破，损坏设备结构，飞溅的碎片和化学物质会直接要挟操作人员和维护工程师的生命安全。

  清洗机内部的火灾开展极为敏捷，依托人工发现、报警、再运用手持救活器，底子来不及。主动救活体系能在毫秒级探测到火源，并在数秒内完结救活剂开释，在火灾萌发阶段就将其熄灭，将丢掉降到最低。

  1.工艺腔体/槽体：尤其是IPA蒸气枯燥槽，这是最高危险点。有必要在其内部和排气口设备探测器和喷嘴。

  4.泵与排气管道：特别是处理易燃溶剂蒸气的线.机器人/传送组织：避免机械毛病引发的火灾。

  为半导体清洗机设备主动救活设备，是一项“以小广博”的最要害出资。其本钱远不及设备价值的百分之一，但却能守护住价值数千万的设备、保证价值数亿的生产线继续运转，并终究维护企业中心财物与人员的生命安全。

  在半导体职业这种“零忍受”安全规范下，任何存在已知高火灾危险的设备，假如没有装备牢靠、快速的主动救活体系，都是在进行一场极高危险的赌博。因而，这不仅是最佳实践，更是现代半导体工厂规划和运营的根本要求。

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